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財団法人マイクロマシンセンター>MEMSフロンティア・未来デバイス(BEANS)技術の提唱

さらには、近年のバイオ分野、ナノ・材料分野、情報通信分野の著しい技術進歩を踏まえ、今や製造業のキーデバイスとなりつつあるマイクロマシン・MEMSに関しても一層の技術革新が求められているため、当センターは今後も技術フロンティアへ挑戦し、次世代マイクロマシン(ファインMEMS、BEANS、ナノマイクロシステム等)の新たな技術基盤の確立を目指してまいります。 。

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